液環(huán)泵，對氣體的壓縮接近等溫壓縮，泵內(nèi)沒有相互摩擦的金屬接觸面，不易發(fā)生燃燒爆炸事故；泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)動件與固定件之間由液體密封，無需潤滑；適于抽含有蒸汽、水份或固體微粒的氣體。但是液環(huán)泵的極限壓力較高，當(dāng)用15℃水做工作液時，極限壓力可以到25hPa左右，一般用在工作壓力33hPa 以上工況。當(dāng)工作液溫度上升，極限壓力升高，在工作壓力處理氣體流量也會小于標(biāo)準(zhǔn)狀況時的氣體流量。

　　 大氣噴射器，以常壓下大氣為動力氣體，不消耗額外動力，沒有任何運(yùn)動部件，就可以獲得一定真空。液環(huán)泵串聯(lián)大氣噴射器后，極限壓力可以到達(dá)6.7hPa，在15~40hPa區(qū)間的抽氣量能達(dá)到液環(huán)泵名義抽氣量的50%以上，這樣大大拓展了液環(huán)泵的使用范圍。羅茨泵，轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間具有一定間隙，互不接觸，不需要潤滑油潤滑；在泵腔內(nèi)對氣體不產(chǎn)生壓縮現(xiàn)象，對被抽氣體中含有的灰塵和蒸汽不敏感。

　　 羅茨-液環(huán)真空機(jī)組，具有液環(huán)泵的大量優(yōu)點(diǎn)，而且提高了液環(huán)泵的真空度，擴(kuò)大了液環(huán)泵在低壓力下的抽速，能夠很好的處理含有大量蒸汽或粉塵的氣體。但是單級羅茨—液環(huán)真空機(jī)組極限壓力較高，一般在4~6.5hPa，要求的真空系統(tǒng)的工作壓力至少在15hPa以上，對于要求工作壓力為在一千多帕或幾百帕的真空系統(tǒng)，則要再要增加一級羅茨泵。而大氣噴射器可以加到羅茨泵和液環(huán)泵中間，可以完全代替一級羅茨泵。羅茨- 大氣噴射器—液環(huán)真空機(jī)組是在液環(huán)羅茨真空機(jī)組的液環(huán)泵和羅茨泵之間增加了大氣噴射器，與羅茨泵數(shù)目相同的液環(huán)羅茨真空機(jī)組相比，極限壓力較低，在較低壓力下有較大抽速，大氣噴射器不消耗功率和無運(yùn)動部件，維護(hù)量很小。羅茨- 大氣噴射器- 液環(huán)真空機(jī)組，極限壓力可以到0.10～0.25hPa，可以用于工作壓力1hPa 以上的工藝過程抽空。